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簡易プラズマ処理装置
<内容>
装置名
装置責任者
装置の概要
装置名:
簡易プラズマ処理装置
装置管理責任者:
西中 浩之
装置管理問合せ先:
松林 雅和
<装置の概要>
現在は酸素ガスを接続していますので、酸素プラズマによる有機物のエッチングや除去、 あるいは表面改質などに利用できます。
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